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　　X熒光光譜儀優點　　
　　a）分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。　　
　　b）X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定。　　
　　c）非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。　　
　　d）X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。　　
　　e）分析精密度高。　　
　　f）制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。　
　　X熒光光譜儀缺點　
　　a）難于作分析，故定量分析需要標樣。　
　　b）對輕元素的靈敏度要低一些。
　　c）容易受相互元素干擾和疊加峰影響。　
　　X熒光光譜儀主要用途　
　　X熒光光譜儀根據各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。　
　　近年來，X熒光光譜分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得zui多也zui廣泛。　
　　大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。